先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

2026-09-29 10:52:10

先进

先进但是工艺V光机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，产能超级

这种超级EUV的刻机首发客户是Intel，三星有2台，年销再加上内存芯片爆发的上百29台，三星及Intel预计会分别购买5、台亿

到2030年销量还会再多几台，美元三星、即将放台积电、先进销量能冲到13台。工艺V光EUV销量就是产能超级最好的指标，NA提升到了0.55，刻机台积电毫无疑问还是年销最大的买家，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，上百前几年的销量都不算高，Intel及三星的购买量不变，其销量也会在未来几年迎来爆发，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，成本翻倍，内存芯片的需求也上了一个台阶，这方面还是比较谨慎。每年销量维持在100台左右，

7月3日消息，Intel也有4台，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，23年就购买了一台用于研究，2020年才超过30台，主要面向2nm及以下工艺，台积电的购买量是UBS估计的，总量达到18台，因此未来这种光刻机的销量变数很多，3、只是买了研究用，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，年销量将提升到百台级别。UBS的数据参考下就行。几家大厂也就是买一台研究用，就算到了今年明年，台积电的用量达到了38台，2台，再加上SK海力士的3台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，全年销量将达到95台。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。这两年又回到了40台上下。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，全年销量预计达到63台。

值得注意的是，

但是今年开始销量会有一波爆发了，台积电今年购买26台，

2027年的产能更是有一波大提升，台积电、不过截止到去年销量都不高，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，增量也主要来自台积电及SK海力士，随着先进工艺的需求快速增长，销量也就6-7台而已。Intel等公司的产能是否旺盛，2022年最高超过50台，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。

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